В соответствии с международной практикой уровень беспылевой очистки в основном определяется количеством частиц в воздухе, диаметр которых превышает классификационный стандарт на кубический метр.То есть, так называемая беспыльность не на 100% не содержит пыли, а контролируется в очень небольшом количестве единиц.Конечно, частицы, которые соответствуют стандарту пыли в этом стандарте, очень малы по сравнению с нашей обычной пылью, но для оптических структур даже небольшое количество пыли будет иметь очень большое негативное влияние, поэтому при производстве изделий из оптических структур пыль- бесплатно является неизбежным требованием.
Количество частиц размером менее 0,5 микрона контролируется на уровне менее 3500 на кубический метр, что соответствует международному стандарту беспыльности А.Стандарты отсутствия пыли, используемые в настоящее время при производстве и обработке чипов, предъявляют более высокие требования к пыли, чем класс A, и такие высокие стандарты в основном используются при производстве некоторых чипов более высокого уровня.Количество мелкой пыли строго контролируется в пределах 1000 на кубический метр, что в промышленности принято называть уровнем 1К.
1. Помещение, материал потолка, высота потолка;
2. Материал пола;
3. Является ли это постоянной температурой и влажностью;
4. Требуется ли отработанный воздух;
5. Общее количество человек в мастерской;
6. Теплотворная способность цехового технологического оборудования;
И так по ряду параметров.
Стандарты для чистого помещения класса 100 000:
Максимально допустимое количество пыли (на кубический метр);
Количество частиц больше или равно 0,5 мкм не должно превышать 3 500 000, а количество частиц больше или равно 5 микрон не должно превышать 20 000;
Максимально допустимое количество микроорганизмов;
Количество бактерий не должно превышать 500 на кубический метр;
Количество осевших бактерий не должно превышать 10 на чашку Петри.
Разница давлений: разница давлений между чистыми помещениями одного и того же уровня чистоты должна быть одинаковой.Перепад давления между соседними чистыми помещениями разного уровня чистоты должен быть ≥5 Па, а перепад давления между чистыми и нечистыми помещениями должен быть ≥10 Па.
Когда в мастерской без пыли на уровне 100 000 нет особых требований к температуре и влажности, уместно носить чистую рабочую одежду, не чувствуя себя комфортно.Зимой температура обычно поддерживается на уровне 20–22 ℃;24~26℃ летом;колебания ±2℃.Влажность чистого помещения зимой регулируют на уровне 30-50%, а влажность в чистом помещении летом контролируют на уровне 50-70%.
контроль шума
1. При динамическом испытании уровень шума в чистом помещении класса 10 000 не должен превышать 70 дБА.
2. Во время статического испытания уровень шума турбулентной чистой комнаты с уровнем шума 10 000 не должен превышать 60 дБА.
организация воздушного потока
Основной метод подачи воздуха, используемый в беспыльном цеху на уровне 100 000;
1. Потолочная подача воздуха с частичным отверстием;
2. Высокоэффективный воздушный фильтр с диффузором для потолочной подачи воздуха;
3. Три типа подачи воздуха, включая подачу воздуха на верхнюю боковую стенку.
1. Расположите выход возвратного воздуха в нижней части одинарной боковой стенки;2. При использовании возвратного воздуха из коридора распределите выпуск возвратного воздуха равномерно в коридоре или установите выпуск возвратного воздуха по центру в конце коридора.
Скорость воздуха на выходе м/с:
1. Отверстие 3~5 диафрагмы,
2. Боковой выход воздуха:
(1) Прикрепите форсунки 2 к 5，
(2) Для неприкрепленных жиклеров возвратный воздух в нижней части той же боковой стенки составляет 1,5~2,5, а возвратный воздух в нижней части противоположной боковой стенки составляет 1,0~1,5.
Скорость возвратного воздуха (м/с):
1. Выход возвратного воздуха из чистого помещения не более 2,
2. Выход рециркуляции в коридор не более 4.
1. Цель
Установите стандартные рабочие процедуры для персонала, входящего и выходящего из чистой комнаты уровня 100 000, чтобы гарантировать, что чистая комната не загрязняется персоналом.
2. площадь
Вход и выход персонала цеха без пыли на уровне 100 000, включая производственных операторов, обслуживающий персонал и управленческий персонал.
3 Обязанности
3.1 Весь персонал, входящий в беспыльную мастерскую на уровне 100 000 и покидающий ее, несет ответственность за выполнение данной рабочей процедуры.
3.2 Руководитель группы обеспыливающего цеха и персонал по контролю качества на месте несут ответственность за надзор и проверку.
4 Содержание
4.1 Войдите в дверь чистой комнаты и положите дождевик и предметы в указанном месте.
4.2 Сменить тапочки.В раздевалке сядьте на обувной табурет, снимите домашнюю обувь, положите ее в обувной шкаф, поверните на 180 градусов, выньте на верхний ярус обувного шкафа свои тапочки и наденьте их.
4.3 Смена рабочей одежды.Войдите в офис общей рабочей зоны, снимите с сотрудников повседневную одежду и переоденьтесь в рабочую одежду.
4.4 Мойте руки.Следуйте процедуре мытья рук, чтобы вымыть руки.
4.5 Переоденьтесь в рабочую обувь.Войдите в дверь обувной, сядьте на скамейку лицом к двери, снимите тапочки, положите тапочки в нижний ярус обувного шкафа, из верхнего яруса обувного шкафа достаньте рабочую обувь, сядьте и повернуться на 180 градусов спиной к двери и надеть их.
4.6 Вымойте руки и высушите.
4.6.1 Смочите руки водой до уровня 10 см выше запястья в раковине, вымойте с моющим средством, нанесите пену на кожу 10 см на руках и запястьях и потрите в течение примерно 15 секунд.
4.6.2 Ополосните руки водой, смойте замоченный рис на руках, поверните руки вверх и вниз и потрите их, пока они не станут жирными.
4.6.3 Визуально проверьте чистоту рук.
4.6.4 Вытяните ладонь на 8-10 см ниже сушилки и сушите руку, пока она не высохнет.
4.7 Сменить белье на чистое.Снимите рабочую одежду и положите ее в личный шкафчик.Снять с настенного крючка в раздевалке рабочую фуражку, рабочую одежду и рабочие штаны с личным номером и надеть их.Наденьте его по порядку сверху вниз, то есть: сначала наденьте шапку, маску, потом топ, а потом штаны.Обратите внимание, завяжите все верхушки в карманы брюк, заправьте все волосы в шапки, проверьте, опрятны ли пальто и кепки.
4.8 Вымыть руки и продезинфицировать.
4.8.1 Смочите руки водой до уровня 10 см выше запястья в раковине, вымойте с моющим средством, нанесите пену на кожу 10 см на руках и запястьях и потрите в течение примерно 15 секунд.
4.8.2 Ополосните руки водой, смойте замоченный рис на руках, поверните руки вверх и вниз и потрите их, пока они не перестанут быть жирными.
4.8.3 Визуально проверьте чистоту рук.
4.8.4 Дезинфекция.Замочите руки на 10 см выше запястья в хлорсодержащем дезинфицирующем средстве на 30 секунд.
4.8.5 Вытяните ладонь на 8-10 см ниже сушилки и вытрите ее, пока она не высохнет.
4.9 Носите комбинезон.Удалите один сайт с индивидуальным номером из шкафа.Надевайте их снизу вверх, следя за тем, чтобы комбинезон не касался земли.
4.10 Приемка и дезинфекция.Толкните дверь в буферную комнату, подставьте руки под автоматический индукционный распылитель, наполненный 75% этанолом, распылите для дезинфекции, встряхните руки и дайте этанолу высохнуть.
4.11 Войдите в чистую комнату.Откройте дверцу буферной камеры и войдите в зону, свободную от пыли.
4.12 Когда персонал покидает чистую зону, выполните процедуру, обратную входу в чистую зону.Обратите внимание, что при перетаскивании рабочей одежды раздевайтесь снизу вверх.
4.13 Посетители со стороны должны быть одобрены заводом, и под руководством и наблюдением руководства мастерской они должны входить и выходить из беспыльного цеха в соответствии с предписанными процедурами.Иностранные посетители должны строго соблюдать правила управления мастерской.В период производства чистого помещения посторонние посетители не допускаются.
В соответствии с международной практикой уровень беспылевой очистки в основном определяется количеством частиц в воздухе, диаметр которых превышает классификационный стандарт на кубический метр.То есть, так называемая беспыльность не на 100% не содержит пыли, а контролируется в очень небольшом количестве единиц.Конечно, частицы, которые соответствуют стандарту пыли в этом стандарте, очень малы по сравнению с нашей обычной пылью, но для оптических структур даже небольшое количество пыли будет иметь очень большое негативное влияние, поэтому при производстве изделий из оптических структур пыль- бесплатно является неизбежным требованием.
Количество частиц размером менее 0,5 микрона контролируется на уровне менее 3500 на кубический метр, что соответствует международному стандарту беспыльности А.Стандарты отсутствия пыли, используемые в настоящее время при производстве и обработке чипов, предъявляют более высокие требования к пыли, чем класс A, и такие высокие стандарты в основном используются при производстве некоторых чипов более высокого уровня.Количество мелкой пыли строго контролируется в пределах 1000 на кубический метр, что в промышленности принято называть уровнем 1К.
1. Помещение, материал потолка, высота потолка;
2. Материал пола;
3. Является ли это постоянной температурой и влажностью;
4. Требуется ли отработанный воздух;
5. Общее количество человек в мастерской;
6. Теплотворная способность цехового технологического оборудования;
И так по ряду параметров.
Стандарты для чистого помещения класса 100 000:
Максимально допустимое количество пыли (на кубический метр);
Количество частиц больше или равно 0,5 мкм не должно превышать 3 500 000, а количество частиц больше или равно 5 микрон не должно превышать 20 000;
Максимально допустимое количество микроорганизмов;
Количество бактерий не должно превышать 500 на кубический метр;
Количество осевших бактерий не должно превышать 10 на чашку Петри.
Разница давлений: разница давлений между чистыми помещениями одного и того же уровня чистоты должна быть одинаковой.Перепад давления между соседними чистыми помещениями разного уровня чистоты должен быть ≥5 Па, а перепад давления между чистыми и нечистыми помещениями должен быть ≥10 Па.
Когда в мастерской без пыли на уровне 100 000 нет особых требований к температуре и влажности, уместно носить чистую рабочую одежду, не чувствуя себя комфортно.Зимой температура обычно поддерживается на уровне 20–22 ℃;24~26℃ летом;колебания ±2℃.Влажность чистого помещения зимой регулируют на уровне 30-50%, а влажность в чистом помещении летом контролируют на уровне 50-70%.
контроль шума
1. При динамическом испытании уровень шума в чистом помещении класса 10 000 не должен превышать 70 дБА.
2. Во время статического испытания уровень шума турбулентной чистой комнаты с уровнем шума 10 000 не должен превышать 60 дБА.
организация воздушного потока
Основной метод подачи воздуха, используемый в беспыльном цеху на уровне 100 000;
1. Потолочная подача воздуха с частичным отверстием;
2. Высокоэффективный воздушный фильтр с диффузором для потолочной подачи воздуха;
3. Три типа подачи воздуха, включая подачу воздуха на верхнюю боковую стенку.
1. Расположите выход возвратного воздуха в нижней части одинарной боковой стенки;2. При использовании возвратного воздуха из коридора распределите выпуск возвратного воздуха равномерно в коридоре или установите выпуск возвратного воздуха по центру в конце коридора.
Скорость воздуха на выходе м/с:
1. Отверстие 3~5 диафрагмы,
2. Боковой выход воздуха:
(1) Прикрепите форсунки 2 к 5，
(2) Для неприкрепленных жиклеров возвратный воздух в нижней части той же боковой стенки составляет 1,5~2,5, а возвратный воздух в нижней части противоположной боковой стенки составляет 1,0~1,5.
Скорость возвратного воздуха (м/с):
1. Выход возвратного воздуха из чистого помещения не более 2,
2. Выход рециркуляции в коридор не более 4.
1. Цель
Установите стандартные рабочие процедуры для персонала, входящего и выходящего из чистой комнаты уровня 100 000, чтобы гарантировать, что чистая комната не загрязняется персоналом.
2. площадь
Вход и выход персонала цеха без пыли на уровне 100 000, включая производственных операторов, обслуживающий персонал и управленческий персонал.
3 Обязанности
3.1 Весь персонал, входящий в беспыльную мастерскую на уровне 100 000 и покидающий ее, несет ответственность за выполнение данной рабочей процедуры.
3.2 Руководитель группы обеспыливающего цеха и персонал по контролю качества на месте несут ответственность за надзор и проверку.
4 Содержание
4.1 Войдите в дверь чистой комнаты и положите дождевик и предметы в указанном месте.
4.2 Сменить тапочки.В раздевалке сядьте на обувной табурет, снимите домашнюю обувь, положите ее в обувной шкаф, поверните на 180 градусов, выньте на верхний ярус обувного шкафа свои тапочки и наденьте их.
4.3 Смена рабочей одежды.Войдите в офис общей рабочей зоны, снимите с сотрудников повседневную одежду и переоденьтесь в рабочую одежду.
4.4 Мойте руки.Следуйте процедуре мытья рук, чтобы вымыть руки.
4.5 Переоденьтесь в рабочую обувь.Войдите в дверь обувной, сядьте на скамейку лицом к двери, снимите тапочки, положите тапочки в нижний ярус обувного шкафа, из верхнего яруса обувного шкафа достаньте рабочую обувь, сядьте и повернуться на 180 градусов спиной к двери и надеть их.
4.6 Вымойте руки и высушите.
4.6.1 Смочите руки водой до уровня 10 см выше запястья в раковине, вымойте с моющим средством, нанесите пену на кожу 10 см на руках и запястьях и потрите в течение примерно 15 секунд.
4.6.2 Ополосните руки водой, смойте замоченный рис на руках, поверните руки вверх и вниз и потрите их, пока они не станут жирными.
4.6.3 Визуально проверьте чистоту рук.
4.6.4 Вытяните ладонь на 8-10 см ниже сушилки и сушите руку, пока она не высохнет.
4.7 Сменить белье на чистое.Снимите рабочую одежду и положите ее в личный шкафчик.Снять с настенного крючка в раздевалке рабочую фуражку, рабочую одежду и рабочие штаны с личным номером и надеть их.Наденьте его по порядку сверху вниз, то есть: сначала наденьте шапку, маску, потом топ, а потом штаны.Обратите внимание, завяжите все верхушки в карманы брюк, заправьте все волосы в шапки, проверьте, опрятны ли пальто и кепки.
4.8 Вымыть руки и продезинфицировать.
4.8.1 Смочите руки водой до уровня 10 см выше запястья в раковине, вымойте с моющим средством, нанесите пену на кожу 10 см на руках и запястьях и потрите в течение примерно 15 секунд.
4.8.2 Ополосните руки водой, смойте замоченный рис на руках, поверните руки вверх и вниз и потрите их, пока они не перестанут быть жирными.
4.8.3 Визуально проверьте чистоту рук.
4.8.4 Дезинфекция.Замочите руки на 10 см выше запястья в хлорсодержащем дезинфицирующем средстве на 30 секунд.
4.8.5 Вытяните ладонь на 8-10 см ниже сушилки и вытрите ее, пока она не высохнет.
4.9 Носите комбинезон.Удалите один сайт с индивидуальным номером из шкафа.Надевайте их снизу вверх, следя за тем, чтобы комбинезон не касался земли.
4.10 Приемка и дезинфекция.Толкните дверь в буферную комнату, подставьте руки под автоматический индукционный распылитель, наполненный 75% этанолом, распылите для дезинфекции, встряхните руки и дайте этанолу высохнуть.
4.11 Войдите в чистую комнату.Откройте дверцу буферной камеры и войдите в зону, свободную от пыли.
4.12 Когда персонал покидает чистую зону, выполните процедуру, обратную входу в чистую зону.Обратите внимание, что при перетаскивании рабочей одежды раздевайтесь снизу вверх.
4.13 Посетители со стороны должны быть одобрены заводом, и под руководством и наблюдением руководства мастерской они должны входить и выходить из беспыльного цеха в соответствии с предписанными процедурами.Иностранные посетители должны строго соблюдать правила управления мастерской.В период производства чистого помещения посторонние посетители не допускаются.
